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?羅茨旋片真空機組:原理、特點與應(yīng)用

  一、概述‌
 
  羅茨旋片真空機組是一種高效、多級組合的真空抽氣系統(tǒng),由‌羅茨泵(Roots Pump)‌和‌旋片式真空泵‌串聯(lián)組成。該機組結(jié)合了羅茨泵的大抽速能力和旋片泵的高壓縮比優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于需要中高真空(10?²~10?? Pa)的工業(yè)領(lǐng)域,如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、醫(yī)藥化工等。
 
  ‌二、工作原理‌
 
  ‌1、羅茨泵(主泵)‌
 
  •采用一對同步反向旋轉(zhuǎn)的葉輪(轉(zhuǎn)子),通過非接觸式嚙合將氣體從進氣口推向排氣口。
 
  •無內(nèi)部壓縮,依賴高速旋轉(zhuǎn)實現(xiàn)大抽速(可達1000~20000 m³/h)。
 
  •需搭配前級泵(旋片泵)使用,因羅茨泵自身無法直接排放大氣壓氣體。
 
  ‌2、旋片泵(前級泵)‌
 
  •通過偏心轉(zhuǎn)子及旋片將氣體壓縮并排出,提供初級真空(極限真空約10?² Pa)。
 
  •為羅茨泵創(chuàng)造低背壓環(huán)境,確保機組高效運行。
 
  ‌3、協(xié)同工作流程‌
 
  •氣體先由旋片泵抽至中真空范圍(1~10 Pa),隨后羅茨泵啟動,進一步將真空度提升至更高水平。
 
  ‌三、技術(shù)特點‌
 
  ‌1、高效節(jié)能‌
 
  •羅茨泵在低壓力區(qū)間抽速顯著高于單級旋片泵,能耗比傳統(tǒng)機組降低30%~50%。
 
  ‌2、寬泛的工作范圍‌
 
  •覆蓋中真空至高真空(10?~10?? Pa),適應(yīng)多變工藝需求。
 
  ‌3、低振動與低污染‌
 
  •羅茨泵無油設(shè)計減少污染,旋片泵可選油潤滑或干式(無油旋片泵),滿足潔凈要求。
 
  ‌4、智能控制‌
 
  •現(xiàn)代機組配備PLC控制系統(tǒng),自動調(diào)節(jié)泵速、過載保護及啟停順序。
 
  ‌四、典型應(yīng)用場景‌
 
  ‌1、光伏與半導(dǎo)體‌
 
  •用于晶圓鍍膜、刻蝕設(shè)備的真空環(huán)境維持。
 
  ‌2、化工與制藥‌
 
  •溶劑回收、真空干燥、分子蒸餾等工藝。
 
  ‌3、科研與實驗室‌
 
  •同步輻射裝置、真空冷凍干燥機等。
 
  ‌4、食品包裝‌
 
  •快速抽除包裝內(nèi)空氣,延長保質(zhì)期。

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