復合式分子泵是一種高性能的真空泵，結合了多種技術的優(yōu)點，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點，被廣泛應用于高真空、超高真空領域。其結構形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯(lián)組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速，而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　以下是復合式分子泵的安裝方法及注意事項：

　　一、安裝前準備

　　清潔環(huán)境

　　選擇干凈、干燥、無粉塵的環(huán)境進行安裝，避免雜質進入泵內。

　　佩戴無塵手套和口罩，防止污染。

　　檢查設備

　　確認分子泵外觀無損傷，轉子轉動靈活，無卡滯或異常聲響。

　　檢查電源線、控制器和連接法蘭是否完好。

　　工具準備

　　準備專用工具（如扭矩扳手、法蘭對中工具）、真空密封脂、清潔布等。

　　確保工具無油污或雜質。

　　二、安裝步驟

　　1.安裝位置確認

　　將分子泵安裝在真空系統(tǒng)的合適位置，通常與前級泵（如旋片泵或干泵）串聯(lián)使用。

　　確保泵體水平，避免傾斜導致振動或損壞。

　　2.法蘭連接

　　在法蘭密封面均勻涂抹真空密封脂（如氟橡膠脂），避免過量導致污染。

　　使用扭矩扳手按規(guī)定力矩擰緊螺栓，確保法蘭連接緊密且不漏氣。

　　對中檢查：使用法蘭對中工具確保泵與系統(tǒng)法蘭同軸，偏差不超過允許范圍。

　　3.電氣連接

　　將分子泵電源線連接到控制器，注意區(qū)分正負極和信號線。

　　檢查控制器參數設置（如轉速、啟停程序）是否與泵匹配。

　　4.前級泵連接

　　將分子泵的排氣口通過管路連接到前級泵的進氣口，確保管路密封性。

　　安裝氣動閥或截止閥，便于控制氣流和保護泵。

　　5.系統(tǒng)檢漏

　　啟動前級泵，對系統(tǒng)進行抽真空，用氦質譜儀或壓力計檢測連接部位是否漏氣。

　　確保分子泵與系統(tǒng)之間的漏率符合要求（通常≤1×10??Pa·m³/s）。

　　三、啟動與調試

　　預啟動檢查

　　確認前級泵已運行并達到分子泵啟動所需的真空度（通常≤10 Pa）。

　　檢查控制器參數設置是否正確，如轉速、加熱電流等。

　　啟動分子泵

　　通過控制器啟動分子泵，觀察轉速是否正常上升，有無異常振動或噪音。

　　初始運行階段需低速預熱（如100~200 Hz），然后逐步提升至額定轉速。

　　性能測試

　　用真空計測量系統(tǒng)極限真空度，確認是否達到設計要求（如1×10??~1×10??Pa）。

　　檢查泵的抽速和穩(wěn)定性，必要時調整前級泵流量或系統(tǒng)參數。

　　四、注意事項

　　避免污染

　　安裝過程中嚴禁油脂、灰塵或纖維進入泵內，尤其是轉子和軸承部分。

　　使用專用清潔工具和無紡布，避免劃傷密封面。

　　防震與固定

　　泵體需牢固固定在基座上，使用減震墊或彈簧片減少振動傳遞。

　　避免泵體受到沖擊或外力擠壓。

　　溫度控制

　　分子泵運行時會產生熱量，需確保散熱良好，避免長時間高溫運行。

　　定期檢查冷卻系統(tǒng)（如風冷或水冷）是否正常。

　　停機維護

　　關機時先停止分子泵，再關閉前級泵，防止反流污染。

　　定期檢查轉子磨損情況、密封件老化程度，及時更換易損件。